L'objectiu s'envasa en una bossa de plàstic doble al buit.Defensem que els usuaris emmagatzemen l'objectiu, ja sigui metàl·lic o ceràmic, en envasos al buit, especialment l'objectiu d'unió s'ha d'emmagatzemar al buit per evitar que l'oxidació de la capa d'enllaç afecti la qualitat de l'enllaç. Pel que fa a l'envasament d'objectius metàl·lics, insistim que el El requisit mínim és empaquetar-los en bosses de plàstic netes.A continuació, l'autor de Beijing Richmat per compartir amb vosaltres sobre quines són les habilitats d'emmagatzematge i manteniment d'objectius d'aliatge
Les habilitats de manteniment sobre l'objectiu d'aliatge són les següents:
Per tal d'evitar curtcircuits i arcs a causa de la cavitat bruta en el procés de sputtering, cal eliminar el centre de la pista de sputtering i els dos costats de l'acumulació de sputtering, cosa que també ajuda els usuaris a continuar amb la màxima densitat de potència de sputtering.
Pas 1: Netegeu amb un drap lliure de llana mullat amb acetona;
Pas 2: Netegeu amb alcohol similar al pas 1;
Pas 3: Rentar amb aigua desionitzada.Després de netejar amb aigua desionitzada, l'objectiu es col·loca en un forn perquè s'assequi a 100 graus centígrads durant 30 minuts.Les dianes d'òxid i ceràmica es netegen amb "drap sense franela".
Pas 4: després d'eliminar la zona polsosa, s'utilitza argó amb alta pressió i gas amb poca humitat per netejar l'objectiu per eliminar totes les partícules d'impureses que puguin formar arcs al sistema de pulverització.
Hora de publicació: Jun-07-2022