Actualment, als principals fabricants d'objectius d'esquitxades del món, hi ha dos mètodes diferents per a la fabricació d'objectius d'esquitxades d'aliatge d'alumini.Un és triar el mètode de fosa per fabricar el lingot i després fer el procés de fosa.L'altre està fet per modelat per aerosol. Deixeu que l'editor de Pequín us compensi per compartir, sobre el procés de fabricació de l'aliatge d'alumini de titani, quin és el sentit comú.
Pel que fa als mètodes de fosa / fosa coneguts, quan es fabriquen l'objectiu de pulverització d'aliatge d'alumini, l'objectiu de pulverització d'aliatge d'alumini sovint està subjecte a segregació a causa de l'addició d'elements d'aliatge, donant lloc a una mala qualitat de la pel·lícula pulveritzada i micropartícules. són fàcils de produir a la superfície de l'objectiu de polverització, cosa que també afectarà la uniformitat de les propietats de la pel·lícula; tanmateix, si s'utilitza el mètode de formació de polvorització conegut per fabricar l'objectiu de polverització d'aliatge d'alumini, encara que els defectes relacionats esmentats anteriorment es poden prevenir, el cost de fabricació de l'objectiu de sputtering es millorarà molt, especialment quan es fabriquen alguns objectius de sputtering que no són fàcils de colar i que s'han de premsar en calent, el cost es millorarà mitjançant l'ús de premsat en calent.
Per tal de fer que el procés de fabricació de l'objectiu d'aliatge d'alumini de titani sigui més fàcil i amb un cost més baix, aquí s'introdueix un mètode de fabricació d'objectius de pulverització d'aliatge d'alumini amb pols d'aire.El seu principi es refereix a que un material en pols d'objectiu de sputtering es fabrica mitjançant el mètode de polvorització d'aire segons la relació de composició de l'aliatge, i després es filtra la pols d'aliatge per obtenir la mida de partícula de pols adequada.Finalment, la pols es pressiona en calent al buit per fer que l'aliatge d'alumini sigui un objectiu.
Aquest mètode de fabricació d'objectius d'esquitxades d'aliatge d'alumini amb pols d'esprai d'aire es pot utilitzar per a la fabricació de diversos objectius d'esquitxades d'aliatge d'alumini (alumini crom, alumini silici coure, alumini titani, etc.).Els passos d'implementació preferits són: subministrar materials metàl·lics per a la fabricació d'objectius d'esquitxades d'aliatge d'alumini i fondre'ls en una fosa metàl·lica; A continuació, el metall fos es converteix en pols metàl·lica mitjançant el mètode de polvorització d'aire;Finalment, la pols metàl·lica es forma mitjançant premsat en calent al buit per fer un objectiu de pulverització d'aliatge d'alumini i s'introdueix gas inert com a gas de manteniment.Aquest mètode pot evitar la segregació de dades i els defectes de micropartícules, i produir objectius de polverització catòdica d'alta qualitat de manera més ràpida i econòmica.
Hora de publicació: Jun-01-2022