Amb l'augment de la demanda del mercat, s'actualitzen constantment més i més tipus d'objectius de pulverització.Alguns els coneixen i d'altres no els coneixen els clients.Ara, ens agradaria compartir amb vosaltres quins són els tipus d'objectius de polverització de magnetrons.
L'objectiu de polverització té els següents tipus: objectiu de recobriment de polverització metàl·lica, objectiu de recobriment d'aliatge, objectiu de recobriment de ceràmica, objectiu de sputtering de ceràmica de borur, objectiu de sputtering de ceràmica de carbur, objectiu de sputtering de ceràmica de fluor, objectiu de sputtering de ceràmica de nitrur, objectiu de ceràmica d'òxid, objectiu de sputtering de ceràmica de seleniur , objectiu de pulverització de ceràmica de siliciur, objectiu de sputtering de ceràmica de sulfur, objectiu de sputtering de ceràmica de telurur, altres objectius de ceràmica, objectiu de ceràmica d'òxid de silici dopat amb crom (CR SiO), objectiu de fosfur d'indi (INP), objectiu d'arsenur de plom (pbas), objectiu d'arsenur d'indi (InAs) ).
La pulverització de magnetrons generalment es divideix en dos tipus: pulverització de CC i pulverització de RF.El principi de l'equip de sputtering DC és senzill i la seva velocitat també és ràpida quan sputtering metall.Sputtering RF s'utilitza àmpliament.A més de fer catòfores de dades conductores, també pot escampar dades no conductores.Al mateix temps, l'objectiu de sputtering també realitza sputtering reactiu per preparar dades de compostos com ara òxids, nitrurs i carburs.Si la freqüència de RF augmenta, es convertirà en pols de plasma de microones.Actualment, s'utilitza habitualment la ressonància de ciclotrons electrònics (ECR) per plasma de microones.
Hora de publicació: 18-mai-2022