Molts usuaris no consideren la compra d'objectius des d'un punt de vista professional, per tant, a què s'ha de parar atenció a l'hora de comprar objectius?Demanem al Xiaobian de Beijing Ruichi que indiqui els assumptes que necessiten atenció a l'hora de comprar objectius.
En primer lloc, per a l'objectiu, la puresa és un dels seus principals indicadors funcionals, i la puresa de l'objectiu té un gran impacte en la funció de la pel·lícula del producte posterior.Cada producte també té diferents requisits per a la puresa de l'objectiu.
En segon lloc, el contingut d'impureses dels elements individuals de l'objectiu.Després d'una sèrie de processaments d'objectius, les impureses del sòlid objectiu i l'oxigen i el vapor d'aigua dels porus són les principals fonts de contaminació de les pel·lícules dipositades.A causa dels diferents usos dels objectius, els requisits per als diferents continguts d'impureses dels objectius amb diferents usos també són diferents.Per exemple, els objectius d'alumini pur i d'aliatge d'alumini utilitzats a la indústria dels semiconductors ara tenen requisits especials pel que fa al contingut de metalls alcalins i elements radioactius.
La densitat també és un dels índexs de rendiment importants de l'objectiu En el procés tècnic de l'objectiu, per tal de reduir els porus del sòlid objectiu i millorar la funció de la pel·lícula sputtered, generalment es requereix que l'objectiu tingui una densitat alta.La densitat característica principal de l'objectiu té una gran influència en la velocitat de sputtering i afecta les funcions elèctriques i òptiques de la pel·lícula.Com més gran sigui la densitat de l'objectiu, millor serà la funció de la pel·lícula.
Finalment, la mida del gra i la distribució del gra.Normalment, el material objectiu és policristalí i la mida del gra pot variar des de la micra fins al mil·límetre.Per al mateix objectiu, la velocitat de pulverització de l'objectiu de gra fi és més ràpida que la de l'objectiu de gra gruixut;El gruix de les pel·lícules dipositades per sputtering objectiu amb una petita diferència de mida de gra (dispersió uniforme) és més uniforme.
Hora de publicació: 10-juny-2022