A causa de l'estabilitat a alta temperatura, l'alta resistència a la migració d'electrons i l'alt coeficient d'emissió d'electrons dels aliatges de tungstè i tungstè refractaris, els objectius de tungstè i aliatges de tungstè d'alta puresa s'utilitzen principalment per a la fabricació d'elèctrodes de porta, cablejat de connexió, capes de barrera de difusió, etc. de semiconductors. circuits integrats i tenen alts requisits per a la puresa, el contingut d'elements d'impuresa, la densitat, la mida del gra i la uniformitat de l'estructura del gra dels materials.Ara fem una ullada als factors que afecten la preparació d'objectius de tungstè d'alta puresa.
1、 Efecte de la temperatura de sinterització
El procés de formació de l'embrió objectiu de tungstè es fa generalment per pressió isostàtica en fred.El gra de tungstè creixerà durant el procés de sinterització.El creixement del gra de tungstè omplirà el buit entre els límits del gra, millorant així la densitat de l'objectiu de tungstè.Amb l'augment dels temps de sinterització, l'augment de la densitat de l'objectiu de tungstè es redueix gradualment.La raó principal és que després de la sinterització múltiple, la qualitat de l'objectiu de tungstè no ha canviat gaire.Com que la majoria dels buits del límit del gra s'omplen de cristalls de tungstè, després de cada sinterització, la taxa de canvi de mida global de l'objectiu de tungstè ha estat molt petita, el que resulta en un espai limitat per augmentar la densitat de l'objectiu de tungstè.Amb el procés de sinterització, els grans de tungstè cultivats s'omplen als buits, donant lloc a una densitat més gran de l'objectiu amb una mida de partícula més petita.
2、 Efecte del temps de retenció
A la mateixa temperatura de sinterització, la compacitat de l'objectiu de tungstè es millorarà amb la prolongació del temps de retenció de la sinterització.Amb la prolongació del temps de retenció, la mida del gra de tungstè augmentarà, i amb la prolongació del temps de retenció, els temps de creixement de la mida del gra es reduiran gradualment, el que significa que augmentar el temps de retenció també pot millorar el rendiment del objectiu de tungstè.
3、 Efecte de rodar sobre les propietats de l'objectiu
Per millorar la densitat del material objectiu de tungstè i obtenir l'estructura de processament del material objectiu de tungstè, el rodatge a temperatura mitjana del material objectiu de tungstè s'ha de dur a terme per sota de la temperatura de recristal·lització.Si la temperatura de rodament de la palangana objectiu és alta, l'estructura de fibra de la palangana objectiu serà gruixuda i viceversa.Quan la taxa de laminació en calent arriba al 95%.Tot i que s'eliminarà la diferència d'estructura de fibra causada per diferents grans originals o diferents temperatures de laminació, l'estructura interna de l'objectiu formarà una estructura de fibra relativament uniforme, de manera que com més gran sigui la velocitat de processament de laminació en calent, millor serà el rendiment de l'objectiu.
Hora de publicació: 15-feb-2023