Com tots sabem, els mètodes que s'utilitzen habitualment en el recobriment al buit són la transpiració al buit i la pulverització iònica.Quina diferència hi ha entre el recobriment de transpiració i el recobriment de polvorització?gent tenir aquestes preguntes.Compartim amb vosaltres la diferència entre el recobriment de transpiració i el recobriment de pulverització
La pel·lícula de transpiració al buit consisteix a escalfar les dades a transpirar a una temperatura fixa mitjançant escalfament per resistència o feix d'electrons i bombardeig làser en un entorn amb un grau de buit no inferior a 10-2 Pa, de manera que l'energia de vibració tèrmica de les molècules o Àtoms en les dades supera l'energia d'unió de la superfície, de manera que moltes molècules o àtoms transpiran o augmenten, i els dipositen directament sobre el substrat per formar una pel·lícula.El recobriment de pulverització iònica utilitza l'alt moviment de demostració dels ions positius generats per la descàrrega de gas sota l'efecte del camp elèctric per bombardejar l'objectiu com a càtode, de manera que els àtoms o molècules de l'objectiu s'escapi i es dipositen a la superfície de la peça de treball xapada per formar-se. la pel·lícula requerida.
El mètode més utilitzat de recobriment de transpiració al buit és el mètode d'escalfament per resistència.Els seus avantatges són l'estructura senzilla de la font de calefacció, el baix cost i el funcionament còmode.Els seus desavantatges són que no és adequat per a metalls refractaris i mitjans resistents a altes temperatures.L'escalfament del feix d'electrons i l'escalfament per làser poden superar els inconvenients de l'escalfament per resistència.En l'escalfament del feix d'electrons, el feix d'electrons enfocat s'utilitza per escalfar directament les dades amb closca, i l'energia cinètica del feix d'electrons es converteix en energia tèrmica per fer transpirar les dades.La calefacció làser utilitza làser d'alta potència com a font de calefacció, però a causa de l'alt cost del làser d'alta potència, només es pot utilitzar en un petit nombre de laboratoris d'investigació.
L'habilitat de pulveritzar és diferent de l'habilitat de transpiració al buit.La pulverització es refereix al fenomen que les partícules carregades bombardegen cap a la superfície (objectiu) del cos, de manera que s'emeten àtoms o molècules sòlides des de la superfície.La majoria de les partícules emeses són atòmiques, que sovint s'anomenen àtoms pulverulats.Les partícules polsades utilitzades per bombardejar objectius poden ser electrons, ions o partícules neutres.Com que els ions són fàcils d'obtenir l'energia cinètica requerida sota camp elèctric, els ions es seleccionen principalment com a partícules de desgranatge.
El procés de sputtering es basa en la descàrrega brillant, és a dir, els ions de sputtering provenen de la descàrrega de gas.Les diferents habilitats de sputtering tenen diferents mètodes de descàrrega de resplendor.La pulverització de díodes de CC utilitza una descàrrega brillant de CC;La pulverització del triode és una descàrrega brillant suportada per un càtode calent;La pulverització de RF utilitza una descàrrega brillant de RF;La pulverització de magnetrons és una descàrrega brillant controlada per un camp magnètic anular.
En comparació amb el recobriment de transpiració al buit, el recobriment de pulverització té molts avantatges.Si qualsevol substància es pot escampar, especialment elements i compostos amb alt punt de fusió i baixa pressió de vapor;L'adhesió entre la pel·lícula i el substrat és bona;Alta densitat de pel·lícula;El gruix de la pel·lícula es pot controlar i la repetibilitat és bona.El desavantatge és que l'equip és complex i requereix dispositius d'alta tensió.
A més, la combinació del mètode de transpiració i el mètode de sputtering és el revestiment d'ions.Els avantatges d'aquest mètode són una forta adhesió entre la pel·lícula i el substrat, una alta taxa de deposició i una alta densitat de la pel·lícula.
Hora de publicació: maig-09-2022